「便器を焼く技術」が半導体で生きた

替えが利かないぶん、求められる水準は高い。

ウエハーは静電チャックに密着したまま、プラズマから絶えず熱を受ける。チャック側の熱伝導率、つまり熱の伝わりやすさがわずかにばらつくだけでウエハーは変形し、歩留まり(良品の割合)が落ちる、とブルームバーグは指摘する。

TOTOの決算説明資料には、衛生陶器の成形・焼成技術を新領域事業に転用していると明記されている。トムズ・ハードウェアはさらに詳しく、割れにくく強靭で、かつ全面で特性がそろったセラミックスを焼き固める難しい壁を、TOTOは長年の便器製造で培った成形・焼成の技術を応用して乗り越えた、と伝えている。